Да, правильно слитное написание. Приставка суб... пишется слитно.
Действующие правила правописания (принятые в 1956 году) не допускают использование апострофа вместо твердого знака. До 1956 года такая замена была вполне возможна.
Написание этих слов подчиняется общему правилу о написании разделительного Ъ после приставок, оканчивающихся на согласный. Буква Ъ пишется в словах иноязычного происхождения с начальными частями аб-, ад-, диз-, ин-, интер-, кон-, об-, суб-, которые в языке-источнике являются приставками, хотя в русском языке в качестве приставок обычно не выделяются. Ср.: адъютант, инъекция, конъюнктура и т. п.